一、盲孔加工技术与能力

1. 机械钻孔

    - 适用范围：机械钻孔适用于较大孔径的盲孔加工，通常孔径在 0.15mm 以上。对于六层板，可实现最小盲孔直径 0.15mm，深度 2 - 3mm。

    - 技术参数：

        - 钻孔精度：孔位公差可达 ±0.01 - ±0.05mm。

        - 纵横比：一般建议盲孔的深度与孔径比为 3:1 - 6:1。

        - 表面粗糙度：机械钻孔的盲孔表面粗糙度一般在 0.4 - 1.6μm Ra 之间。

2. 激光钻孔

    - CO2 激光钻孔

        - 适用范围：适用于孔径较大的盲孔，一般孔径在 50μm 以上。

        - 技术参数：

            - 成孔效率：CO2 激光成孔效率高，可用于工业化批量生产。

            - 孔壁质量：孔壁可能存在热烧蚀或热影响区，需后续除胶渣处理。

    - UV 激光钻孔

        - 适用范围：适用于小孔径盲孔，一般孔径在 50μm 以下。

        - 技术参数：

            - 加工精度高：可实现高精度的盲孔加工，孔径均值可达 30μm。

            - 热影响小：属于冷加工，对材料的热损伤小。

    - 飞秒激光钻孔

        - 适用范围：适用于超精细盲孔加工，可实现微米级甚至亚微米级的盲孔。

        - 技术参数：

            - 加工精度：可加工出直径小于 10μm 的盲孔，孔间距可达 0 - 2μm。

            - 热损伤低：具有极高的峰值能量和极短的脉冲宽度，热影响极小。

3. 其他成孔技术

    - 等离子成孔技术

        - 适用范围：适用于制作开窗能力范围内的盲孔，可同时制作多种尺寸的盲孔。

        - 技术参数：

            - 刻蚀速率：每分钟刻蚀速率在几百纳米级别。

            - 孔型质量：孔型良好，真圆度高，孔壁平直。

    - 光致成孔技术

        - 适用范围：适用于高精度、高质量的盲孔制备。

        - 技术参数：

            - 孔径范围：可实现直径为 60μm 的导通孔及更小的微盲孔。

            - 质量控制：盲孔质量高，孔壁平整，粗糙度低，真圆度高。

 二、通孔加工技术与能力

1. 机械钻孔

    - 适用范围：六层板通孔的最小钻孔直径可达 0.15mm。

    - 技术参数：

        - 钻孔精度：孔位公差可达 ±0.01 - ±0.05mm。

        - 纵横比：对于多层板，通孔的纵横比一般建议不超过 10:1，即对于六层板厚度为 1 - 2mm 的情况，通孔直径可达到 0.2mm 左右。

        - 表面粗糙度：机械钻孔的通孔表面粗糙度一般在 0.4 - 1.6μm Ra 之间。

        - 厚径比：最高可实现厚径比 12 的通孔加工。

2. 激光钻孔

    - 适用范围：激光钻孔适用于制作微小孔径的通孔，尤其在高密度互连（HDI）板中广泛应用。

    - 技术参数：

        - 孔径范围：可实现孔径小于 0.1mm 的通孔。

        - 加工精度：激光钻孔的精度高，孔位公差可达 ±0.01mm。

    - 激光类型：

        - CO2 激光：适用于孔径较大的通孔加工，成孔效率高。

        - UV 激光：适用于小孔径通孔，加工精度高，热影响小。

        - 飞秒激光：适用于超精细通孔加工，可实现高质量的微小通孔。

3. 化学蚀刻法

    - 适用范围：可实现高精度的通孔加工，适用于对精度要求高的六层板。

    - 技术参数：

        - 加工精度：可实现高精度的通孔加工，孔径均值可达 30μm。

        - 蚀刻精度：蚀刻精度高，孔径和孔形一致性好。

 三、加工能力对比与选择建议

|加工方法|盲孔|通孔|

|机械钻孔|孔径≥0.15mm，深度 2 - 3mm，精度±0.01 - ±0.05mm，纵横比 3:1 - 6:1，表面粗糙度 0.4 - 1.6μm Ra|孔径≥0.15mm，精度±0.01 - ±0.05mm，纵横比≤10:1，表面粗糙度 0.4 - 1.6μm Ra，厚径比最高 12|

|CO2 激光钻孔|孔径≥50μm，效率高，孔壁需除胶渣|孔径≥50μm，效率高，精度高，热影响小|

|UV 激光钻孔|孔径≤50μm，精度高，热影响小|孔径≤50μm，精度高，热影响小|

|飞秒激光钻孔|孔径＜10μm，间距 0 - 2μm，热损伤低|孔径＜10μm，间距 0 - 2μm，热损伤低|

|等离子成孔|开窗范围内，多种尺寸，刻蚀速率几百纳米 / 分钟，孔型良好|一般不适用|

|光致成孔|孔径≥60μm，孔壁平整，粗糙度低，真圆度高|一般不适用|